別名：弱吸收測(cè)量?jī)x，強(qiáng)激光材料性能測(cè)試儀，高功率激光薄膜光熱弱吸收測(cè)量?jī)x，光學(xué)薄膜微弱吸收測(cè)量?jī)x，光學(xué)材料光熱效應(yīng)測(cè)量?jī)x

主要特點(diǎn)：

        光熱效應(yīng)測(cè)量

        激光誘導(dǎo)波前形變測(cè)量（Hartmann‐Shack）傳感器

        測(cè)量分辨率<10pm (~ λ/10,000)

        實(shí)時(shí)吸收測(cè)量：ppm級(jí)靈敏度

        激光波長(zhǎng)：≤193nm~>1000nm

                   (Hard x-rays, EUV 13.5nm,193nm, 248nm, 308nm, 351nm,

                    532nm, 355nm,1064nm,1070nm etc.)

Relaxation of wavefront deformation after heating pulse

Thermal lens in fused silica @193nm

主要應(yīng)用：

        光學(xué)材料測(cè)試（EUV、DUV光學(xué)器件等，高功率紫外/深紫外/極紫外光學(xué)器件等）

        熱透鏡效應(yīng)分析

        波前形變分析

        復(fù)雜光學(xué)瞬態(tài)畸變（如：F‐Theta平場(chǎng)聚焦鏡頭）

        質(zhì)量控制

        高功率激光器（固體激光器、準(zhǔn)分子激光器、CO2激光器等）

光束測(cè)試軟件

測(cè)試基于ISO標(biāo)準(zhǔn)