波前傳感器，又稱(chēng)波前探測(cè)器、波前分析儀，是用于**測(cè)量和分析光學(xué)波前的設(shè)備。通過(guò)實(shí)時(shí)測(cè)定動(dòng)態(tài)入射波前的相位畸變，為波前重構(gòu)及校正提供信息。

夏克 - 哈特曼波前傳感器：由微透鏡陣列和光電探測(cè)器（CCD 或 CMOS）組成。平行入射光束經(jīng)微透鏡陣列，每個(gè)微透鏡將光束匯聚到 CCD 上形成聚焦點(diǎn)。理想平面波經(jīng)微透鏡后成像位置為零點(diǎn)，畸變波前的聚焦成像點(diǎn)與零點(diǎn)的偏差可計(jì)算出波前的局部斜率，進(jìn)而獲取波前信息。

優(yōu)點(diǎn)：靈活性高、適應(yīng)性廣、光譜范圍寬，結(jié)構(gòu)緊湊，對(duì)環(huán)境擾動(dòng)抗干擾能力較強(qiáng)，波前重建算法輕量級(jí)，可實(shí)現(xiàn)高速波前重建。

主要特點(diǎn)

        Hartmann波前傳感器（相干和非相干輻射）

        緊湊結(jié)構(gòu)

        光化性能檢測(cè)

            -EUVL 等離子源

            -自由電子激光

            -HHG高次諧波束

        實(shí)時(shí)光學(xué)調(diào)整

        單個(gè)脈沖重復(fù)性：λ/116 (wrms)，for EUV (λ =13.5 nm)

技術(shù)規(guī)格

        波長(zhǎng)范圍：<1nm~60nm（量子轉(zhuǎn)換涂層）

        視場(chǎng)：9mmX6.7mm（可選更大尺寸）

        動(dòng)態(tài)范圍：14Bit

        Hartmann 盤(pán)：precision pinholes ?75μm, 250μm pitch

        傾角：±10°

        XY調(diào)節(jié)范圍：±10mm

        UHV兼容：CF63法蘭

Wavefront measurement of Free Electron Laser FLASH

(DESY/Hamburg) at λ=13.5nm, before (above) and after

(below) adjustment of beam line optics (B. Fl?ter, K.

Mann, K. Tiedtke et al. NIM A 635, S108–S112 (2011) )

Spot pattern @ λ=1.5 nm

(LCLS / Stanford)

Reconstructed intensity profile

光束測(cè)試軟件

測(cè)試基于ISO標(biāo)準(zhǔn)