廠家：k-Space Associates, Inc.
型號：kSA ScanningPyro
系統(tǒng)利用兩個Pyrometer測溫儀同時通過MOCVD設(shè)備的可視窗口掃描石墨盤，進(jìn)行溫度掃描測量。在單次測量過程中，整個石墨盤在以一定轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)，雙Pyrometer探頭從石墨盤中心逐步掃描到邊緣，這樣可以快速地得到整盤的溫度分布圖。
該系統(tǒng)可安裝在Veeco K465i和EPIK700型MOCVD上，或其他品牌類似系統(tǒng)上，實時快速的對石墨盤的整體溫度分布進(jìn)行Mapping測量，分析盤面溫度的分布均勻性；有助于客戶調(diào)整加熱區(qū)域，改善并優(yōu)化工藝，以提高產(chǎn)品質(zhì)量和器件性能。
1.適配 MOCVD 型號：Veeco K465i及EPIK700以及其他品牌類似系統(tǒng)；
2.掃描范圍：全盤掃描，自定義部分區(qū)域掃描；
3.溫度范圍：530℃-1250℃（可選更高）；
4.溫度分辨率：530-700℃：±1℃；700-1250℃：±0.3℃；
5.掃描分辨率：用戶自定義，通常設(shè)置為徑向掃描步進(jìn)：1mm，角度分辨率：0.3°或更高；
6.掃描時間：與石墨盤旋轉(zhuǎn)速度有關(guān)，例如：盤轉(zhuǎn)速為600rpm，徑向掃描步進(jìn)為1mm 時，整盤掃描時間93s；可預(yù)設(shè)掃描開始時間或兩次掃描時間間隔，以便與薄膜生長狀態(tài)相關(guān)聯(lián)；
7.溫度分析功能：溫度2D或3D直觀圖形顯示及統(tǒng)計分析，定義的半徑或直徑上的徑向溫度分布，指定半徑上的溫度分布并與RT數(shù)據(jù)進(jìn)行比對，目標(biāo)區(qū)域放大分析，Crosshair徑向分析，石墨盤每個pocket溫度統(tǒng)計分析（**值，*小值、平均值及標(biāo)準(zhǔn)偏差）;
8.溫度校準(zhǔn)：既可校準(zhǔn)到已知溫度設(shè)定點(diǎn)，也可使用kSA Spectra Temp溫度測溫工具校準(zhǔn)到絕對溫度。
分析界面
注：同一石墨盤相同條件下的發(fā)射率與溫度對比圖
統(tǒng)計界面
